隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求,由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍,只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。
滑閥真空泵的結(jié)構(gòu)主要由泵體及在其內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動的滑閥、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。滑閥式真空泵是靠氣閥(滑閥)前后滑動,和兩個排氣閥片交替做工,打開、關(guān)閉氣道,進行吸氣排氣,從而得到真空。
滑閥真空泵中裝有滑閥環(huán),滑閥環(huán)內(nèi)裝有偏心輪,偏心輪固定在軸上,軸與泵體中心線相重合。在滑閥環(huán)上裝有長方形的滑閥桿,它能在半圓形滑閥導(dǎo)軌中上下滑動及左右擺動,因此泵腔被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔成A、B兩室。泵在運轉(zhuǎn)過程中,由于A、B兩室容積周期性地改變,使被抽氣體不斷進入逐漸增大容積的吸氣腔;同時,在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮,并通過排氣閥排出滑閥真空泵。