滑閥真空泵同旋片泵一樣,也是一種變容式氣體傳輸泵,但是
滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比,耐用高出好幾倍。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。滑閥真空泵由于其結構特點,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa,對大泵≤1.3Pa(均關氣鎮),雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(關氣鎮)。目前雙極2H滑閥真空泵zui大抽速為300L/S。
由于
滑閥真空泵的旋轉質量有較大的偏心,如果滑閥沒有很好的質量平衡,在運轉時會產生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線,因此小廠很難實現對滑閥泵慣性力的*平衡。可以通過動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質量平衡。